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日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2
产品时间：2024-03-28
日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2紧凑型自动转印显影机。ACT-300A2S自动转印型显影机在旋转6英寸以下的基材时进行喷雾显影。它配备了两套显影液系统、一套冲洗系统和一把气刀，配方设置操作可通过触摸屏进行，可实现多达25种基质的自动显影。
日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2
紧凑型自动转印显影机。
ACT-300A2S自动转印型显影机在旋转6英寸以下的基材时进行喷雾显影。
它配备了两套显影液系统、一套冲洗系统和一把气刀，配方设置操作可通过触摸屏进行，可实现多达25种基质的自动显影。
也可提供无自动处理的单晶片类型。
日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2
主要规格。
处理能力：可连续处理25张6英寸以下的圆形基材。
流程：显影剂：2个系统，漂洗：1个系统，气刀：1个系统。
使用的化学品：碱性显影剂，去离子清洗水。
处理能力 多达25个6英寸的圆形基片（专用盒式存储型）。
过程开发者2系统（喷嘴可互换）。
1个漂洗系统 1个气刀系统
使用的化学品 碱性显影剂 去离子清洗水
转移机器人Tatsumo定心台，用于准确定位基片。
可以注册10个步骤x50个模式的食谱。
以0.1秒为增量的处理时间设置
板速交流伺服电机控制的 0-3000 rpm 精度±2 转速以内
设备尺寸 W1120 x D920 x 高1950毫米，zui大50 0公斤或以下
控制系统8英寸触摸面板操作
吸水台 白色特氟隆，真空孔吸水式
罐体容量为18L，与机体分离，通过称重传感器检测残余液位。
显影液控制温度20-30°C ± 3°C
公用事业 3相200V/30A 1个漏电断路器
内置真空泵
空气0.5兆帕
氮气 0.3 MPa
排气管 2个排气系统（电动排气管、杯式排气管），ø75 mm
显影液废液 收集在聚乙烯罐中或与工厂废物相连