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日本EHC VD-400减压室
产品时间：2024-03-28
日本EHC VD-400减压室一个减压的干燥系统，带有触摸面板控制的配方操作。VD-400是一个减压室，用于在抗蚀剂应用后对玻璃基材进行涂层。该设备用于减压干燥。
日本EHC VD-400减压室
一个减压的干燥系统，带有触摸面板控制的配方操作。
VD-400是一个减压室，用于在抗蚀剂应用后对玻璃基材进行涂层。
该设备用于减压干燥。
VD-400减压室特点。
通过触摸面板控制简化操作。
可进行配方操作（允许复制操作程序）。
两级排风减少了风的波纹和气泡。
蝶形阀的使用使真空排气量得以设定。
日本EHC VD-400减压室
主要规格。
外部尺寸400毫米×400毫米，高度103毫米（盖子关闭时）。
内部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米
○ 真空：可实现的真空度约为1Pa或更低（无负载时）。
规格。
0室：外部尺寸400mm x 400mm，高度103mm（盖子关闭时）。
内部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米
0 真空系统：可实现的真空度：1帕或更低（不含样品）
干式泵250升/分钟
达到设定压力时，自动释放到大气中。
时间模式 在设定的减压时间后自动释放大气。
0 实用：3Φ AC200：干燥空气 0.4-0.6 MPa：真空抽气
z 外部尺寸：（宽）1000 x（长）800 mm x（高）1600 mm
0 设备重量：约250公斤
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